Hvad er fordelene ved plasmaætsning frem for væskeætsning?

Objects for plasma etching

En måde at ændre metallers fysiske og kemiske egenskaber på er plasmaætsning. Teknikken er især populær i den digitale verden til fremstilling af integrerede chips.

Folk har brugt koncentrerede syrer til at ætse printkort af kobber i årevis. Men med introduktionen af plasmaætsningssystemet i slutningen af 80’erne begyndte printkortproducenterne at stole på denne teknik.

Hvad er plasmaætsning?

Som navnet antyder, er det en ætseteknik, hvor plasma bruges som ætsemiddel i stedet for stærke syrer. Plasma er den fjerde tilstand af stof, der dannes ved at ionisere gaspartikler ved hjælp af radiofrekvens eller opvarmning. For at forstå processen med plasmaætsning er det vigtigt at forstå, hvordan et plasmaætsningssystem fungerer. Systemet består af to symmetriske elektroder til generering af radiofrekvens og en jordelektrode, hvorpå prøven, der skal ætses, placeres. Der er et gasindtag, hvorigennem ætsemidlet kommer ind i systemet, og der er et udtag til plasma. Når gassen kommer ind i systemet, tilføres der spænding for delvist at ionisere gaspartiklerne.
Plasma etching

Normalt er frekvensen af den genererede strøm 13,6 MHz, hvilket betragtes som en standard plasmadannende frekvens på verdensplan. Radiofrekvensen bruges til at ophidse gaselektroner og ændre deres tilstand. For at ætse et materiale med plasma genererer ætsesystemet højhastighedspulser af plasma. Afhængigt af ætsningstypen (tør eller våd) består plasmaet af enten ioner eller radikaler. Plasmaætsningsprocessen resulterer også i produktion af flygtige kemiske forbindelser, der dannes som biprodukter under den kemiske reaktion mellem plasmaet og det materiale, der skal ætses. Det tager lidt tid for plasmaatomerne at sætte sig fast på printkortet.

tantec-managament

Løsning af dine vedhæftningsproblemer

Vi har mere end 50 års erfaring med at levere og fremstille avancerede overfladebehandlingsprodukter af høj kvalitet til alle brancher.

Tantec har både standardmaskiner, men også specialdesignede maskiner.

Kontakt os i dag og få et tilbud. Vi står klar til at servicere dig.

Løsning af dine vedhæftningsproblemer

Vi har mere end 50 års erfaring med at levere og fremstille avancerede overfladebehandlingsprodukter af høj kvalitet til alle brancher.

Tantec har både standardmaskiner, men også specialdesignede maskiner.

Kontakt os i dag og få et tilbud. Vi står klar til at servicere dig.

The management of Tantec contact people

Løsning af dine vedhæftningsproblemer

Vi har mere end 50 års erfaring med at levere og fremstille avancerede overfladebehandlingsprodukter af høj kvalitet til alle brancher.

Tantec har både standardmaskiner, men også specialdesignede maskiner.

Kontakt os i dag og få et tilbud. Vi står klar til at servicere dig.

Tilstande i plasmaætsningssystemer

Plasmaætsningssystemernes virkemåde varierer med typen af det materiale, der skal ætses, ætsemidlets art og ætsningstypen. Ved tør ætsning fungerer systemet f.eks. med kapacitiv kobling af radiofrekvens. Andre faktorer, der påvirker genereringen af plasma og plasmageneratorens funktion, er temperatur og tryk. De mindste variationer i driftstrykket kan ændre elektronernes kollisionsfrekvens betydeligt. Desuden er det meget vigtigt at opretholde driftstrykket for at opretholde plasmatilstanden.

Tør ætsning

Dry etching is a type of plasma etching, wherein the materials are blasted with ions in a gaseous atmosphere, as previously described. The process dislodges particles of material from the surface and unlike liquid etching (acid etching), dry etching is performed either directionally or anisotropically. Similarly, dry etching enables an easier post-treatment adherence with paints and glues.

Tørætsning er en type plasmaætsning, hvor materialerne blæses med ioner i en gasformig atmosfære, som tidligere beskrevet. Processen løsner materialepartikler fra overfladen, og i modsætning til væskeætsning (syreætsning) udføres tørætsning enten retningsbestemt eller anisotropisk. På samme måde muliggør tørætsning en lettere vedhæftning med maling og lim efter behandlingen.

Her er et kig på nogle af de mange fordele ved plasmaætsning i forhold til syreætsning:

  • Forbedrer det ætsede materiales fysiske egenskaber.
  • Det klæber bedre til to overflader end andre ætsemidler.
  • I modsætning til syreætsemidler er plasmaætsemiddel også et fremragende rengøringsmiddel og fjerner alle uønskede organiske rester fra metaloverfladen.
  • Selvom plasma forbedrer metallets kemiske og fysiske egenskaber, ændrer det ikke nogen egenskaber.
  • Biprodukter, der dannes under ætsningen, er flygtige.
  • Plasmaætsning er mindre risikabelt end syreætsning.

Så brug af plasma kan effektivt forbedre kvaliteten af fremstillingen af integrerede kredsløb. Desuden kan det også bruges til at behandle sarte halvlederskiver og en lang række substrater.

Video: VacuTEC | Vacuum Plasma Teknologi